Sic sauberer nach - dmp

Sic sauberer nach - dmp

Das doppelte - -Styp -mechanische Polierreiniger (SIC -Reiniger nach - DMP) verfügt über automatische Erwärmung, ein Konstanttemperaturzirkulationsgerät, ein Ultraschallreinigungsgerät, ein Spray Fast - Einflussblasenüberlauf -Gerät und ein Pipeline und ein elektrisches Kontrollsystem. Die Funktionen werden von SPS gesteuert und umfassen einstellbare Reinigungszeit, Eingabeaufforderung für die Reinigung, die Einstellung der Temperaturregelung, einen hohen und niedrigen Alarme des Flüssigkeitsspiegels, den Überlaufschutz und den Alarm zur Leckageerfassung.
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Das doppelte - -Styp -mechanische Polierreiniger (SIC -Reiniger nach - DMP) verfügt über automatische Erwärmung, ein Konstanttemperaturzirkulationsgerät, ein Ultraschallreinigungsgerät, ein Spray Fast - Einflussblasenüberlauf -Gerät und ein Pipeline und ein elektrisches Kontrollsystem. Die Funktionen werden von SPS gesteuert und umfassen einstellbare Reinigungszeit, Eingabeaufforderung für die Reinigung, die Einstellung der Temperaturregelung, einen hohen und niedrigen Alarme des Flüssigkeitsspiegels, den Überlaufschutz und den Alarm zur Leckageerfassung.

 

Produktparameter

 

01/

1.Produktionfluss:

Last (Handbuch) → QDR -Tank → Tank → Ultraschallreinigungsmittel Tank → Ultraschallreinigungsmittel Tank → QDR -Tank → Entladen (Handbuch)

02/

2. Major -Materialien:

Metallrahmen: Sus 304

ICE - Creme PP Board

Tankmaterial: PPN + SUS 316

03/

3. Transportierung:

Handbuch

 

 

Produktfunktionen und Anwendungen

 

Entfernt die Restschlammung und größere Partikel von der Oberfläche von sic -Wafern nach dem doppelten - -Seitigen mechanischen Polierverfahren.

 

Produktdetails

 

◆ 1.Kapazität:

6 "× 1 Kassette (25 PCs)

8 "× 1 Kassette (25 PCs)

◆ 2. Cleaning -Chargenzeit:

Weniger als oder gleich 1 Stapel/10 min (Reinigungsverfahren ist einstellbar).

 

Anwendungsszenarien

 

 

◇ Im Oktober 2024 wurde der SIC -Reiniger nach - DMP in Auftrag gegeben und begann mit dem Betrieb auf der Kundenstelle für Tiancheng Semiconductor.

 

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